受英国皇家学会支持，2006年赴英国卢瑟福国家实验室微结构中心和牛津大学工程系开展合作研究。作为院公派高级访问学者，2009年赴美国UC Berkeley开展合作研究。

先后承担国家自然科学基金、863计划、院仪器研制、北京市自然科学基金等10余项科研项目。先后从事表面等离子谐振（SPR）生化分析系统、电化学传感器、硅微惯性传感器、微流控芯片、MEMS封装技术等研究，研制出双参数高分辨率SPR、电化学—SPR、高通量SPR等系列产品，研制出便携式电化学分析仪、用于组织工程的微流控检测芯片、三轴硅微加速度传感器、三轴微机械陀螺仪等微传感器及检测系统。发表论文70余篇，被SCI/EI收录30余篇，申请国家专利10项，4项获授权。

目前的研究兴趣主要集中在：MEMS惯性传感器设计及制作；谐振式微机械传感器的设计、加工及微弱信号检测；MEMS圆片级真空封装技术等。